ارائه بوده است، تهیه و برای اعتبارسنجی شبیه‌سازی عددی مورد استفاده قرار گرفته است. حل تحلیلی و شبیه‌سازی عددی مطابقت خوبی داشته‌اند.
کلمات کلیدی: خلأ، پمپ توربومولکولی، شبیه‌سازی، پره روتور، تحلیل تنش و کرنش، دیسک حلقه‌ای دوار، پروفیل

فهرست مطالب
صفحه تصویب‌نامه الف
گواهی صحت و اصالت پایان نامه و مجوز بهره برداری ب

1- فصل اول: مقدمه 1
1-1- تعریف مسأله 2
1-2- ضرورت و اهمیت مطالعه تکنولوژی سیستم‌های خلأ 4
1-2-1- ویژگی‌های فناوری سیستم‌های خلأ 4
1-3- معرفی تکنولوژی خلأ 5
1-3-1- تعریف خلأ یا وکیوم 6
1-3-2- کاربردهای خلأ و فرایندهای متداول تحت سیستم‎های خلأ 6
1-3-2-1- کاربرد خلأ در صنایع 9
1-3-3- اصطلاحات مورد استفاده در فیزیک خلأ 10
1-3-3-1- واحد‌های خلأسنجی 11
1-3-3-2- مسیر یا پویش آزاد میانگین 12
1-3-3-3- اعداد بی‌بعد رینولدز و نادسن 13
1-3-3-4- نسبت تراکم پمپ 14
1-3-3-5- سرعت پمپاژ 14
1-3-3-6- ظرفیت پمپاژ 14
1-3-3-7- نشت 15
1-3-4- تقسیم‌بندی خلأ به نواحی مختلف بر اساس محدوده فشار 15
1-3-5- رژیم‌های مختلف جریان گازی 16
1-3-5-1- جریان پیوسته یا لزج 17
1-3-5-2- جریان لغزشی یا انتقالی یا نادسن 18
1-3-5-3- جریان مولکولی 19
1-4- انواع پمپ‌های خلأ و کاربردهای آن‌ها 21
1-4-1- پمپ‌های ایده‌آل 22
1-4-2- پمپ‌های واقعی 22
1-4-3- انواع پمپ‌های خلأ 25
1-4-3-1- پمپ‌های ایجاد کننده خلأ کم و متوسط 26
1-4-3-2- پمپ‌های ایجاد کننده خلأ بالا و فوق بالا 26
1-5- پمپ توربومولکولی محوری 32
1-5-1- ضرورت مطالعه پمپ توربومولکولی محوری 34
1-6- پیشینه پژوهش 37
1-7- اهداف تحقیق حاضر 42
1-8- رئوس مطالب تحقیق 43
1-9- نکات منحصر به فرد پایان‌نامه 45
2- فصل دوم: بررسی جریان سیال در پمپ توربومولکولی محوری
2-1- مبانی تئوری جریان مولکولی
2-1-1- انواع مدل‌های ریاضی جهت بررسی جریان در پمپ توربومولکولی
2-1-2- تاریخچه کاربرد روش مونت کارلو
2-1-3- حل مستقیم جریان مولکولی به روش مونت کارلو
2-1-4- حل مستقیم جریان مولکولی به روش ذره نمونه مونت کارلو
2-1-5- برخورد مولکول‌های گاز در حال تعادل با سطح جامد
2-1-6- بررسی اثر دو مشخصه مهم پمپ توربومولکولی
2-1-7- بررسی اثر سرعت و زاویه پره بر عملکرد پمپ توربومولکولی محوری
2-2- بررسی اثر نشتی بر عملکرد پمپ توربومولکولی محوری
2-3- بررسی اثر تغییر زاویه گوه پره بر عملکرد پمپ توربومولکولی محوری در مقایسه با پره‌های موازی
2-4- بررسی اثر ارتفاع پره بر عملکرد پمپ توربومولکولی محوری
2-5- بررسی اثر فاصله دو پره به وتر پره بر عملکرد پمپ توربومولکولی محوری
2-6- بررسی اثر لقی بین روتور و استاتور بر عملکرد پمپ توربومولکولی محوری
2-7- بررسی تاثیر پروفیل بدنه پره روتور بر عملکرد پمپ توربومولکولی محوری
2-8- بررسی افزایش عملکرد پمپ توربومولکولی محوری با ترکیب پمپ مولکولی درگ
2-9- بررسی و مقایسه عملکرد چند پمپ تجاری توربومولکولی
2-10-نتیجه‌گیری
/>2-11-ساختار و نحوه چینش پره‌های پمپ توربومولکولی محوری
3- فصل سوم: شبیه‌سازی دوبعدی دیسک و سه‌بعدی پره‌های پمپ توربومولکولی محوری
3-1- روش‌های حل عددی Error! Bookmark not defined.
3-1-1- روش تفاضل محدود
3-1-2- روش المان محدود
3-1-3- روش المان مرزی
3-2- معرفی برنامه انسیس ورک بنچ
3-3- حل تحلیلی و عددی دو بعدی دیسک حلقه‌ای دوار
3-3-1- مبانی نظری و استخراج معادلات با فرض الاستیسیته مسأله
3-3-2- ویرایش و اصلاح معادلات استخراجی از حل الاستیسیته
3-3-2-1- معادلات اصلاحی ویرایش شده
3-3-2-2- نتایج معادلات اصلاحی دیسک حلقه‌ای در سرعت چرخش 18000 دور بر دقیقه
3-3-2-3- نتایج معادلات اصلاحی دیسک حلقه‌ای در سرعت چرخش 250000 دور بر دقیقه
3-3-3- بررسی تاثیر سرعت زاویه‌ای بر حداکثر جابه‌جایی، تنش دیسک حلقه‌ای دوار
3-3-4- حداکثر سرعت زاویه‌ای مجاز دیسک حلقه‌ای دوار
3-4- حل تحلیلی و عددی دو بعدی، دو دیسک حلقه‌ای دوار متصل به هم
3-5- حل عددی سه بعدی دیسک و پره‎های روتور پمپ توربومولکولی Error! Bookmark not defined.
3-5-1- تاثیر پارامترهای آیروالاستیسیته بر پره‌های پمپ توربومولکولی محوری
3-5-2- بررسی پدیده خزش در پره‌های روتور پمپ توربومولکولی
3-5-3- مدل و ابعاد پره‎های روتور پمپ توربومولکولی محوری Error! Bookmark not defined.
3-5-4- فرضیات مساله Error! Bookmark not defined.
3-5-5- مقایسه نتایج شبیه‌سازی یک ردیف کامل پره‌ با یک پره با شرط پریودیک و شرط تکیه‌گاه بدون اصطکاک Error! Bookmark not defined.
3-5-6- مقایسه نتایج حاصل از شبیه‌سازی پره ردیف‌های مختلف روتور پمپ توربومولکولی محوری
3-5-7- تاثیر ضخامت پره بر نتایج شبیه‌سازی یک ردیف پره روتور پمپ توربومولکولی محوری Error! Bookmark not defined.
3-5-8- تاثیر ارتفاع پره بر نتایج شبیه‌سازی یک ردیف پره پمپ توربومولکولی محوری Error! Bookmark not defined.